产品介绍
工具金相显微镜是具有电子数字成像与目视系统，兼具影像坐标测量与显微观察功能的测量型金相显微镜。该仪器广泛应用于半导体，FPD面板，电子组件，电路封装，电路基板，精密刀具，PCB加工等方面。不仅应用于长度、角度等二维测量，亦可用于ITO、ACF导电粒子形状和瑕疵观察。是机械、电子、科研院所及计量实验室不可或缺的计量检测设备之一。
产品参数
| 仪器型号/ 仪器参数 | FH300 | |||
| 测量行程(mm)* | 300X200X150 | |||
| 外形尺寸(mm) | 750X640X900 | |||
| 仪器重量(kg) | 200 | |||
| 承载重量(kg) | 30 | |||
| 测量精度 | X/Y≤(2.0+L/200)µm | |||
| L为被测物长度，单位为mm | ||||
| 导轨 | P级精密V型交叉导轨 | |||
| 光栅尺** | 0.5µm光栅尺 | |||
| 控制方式 | X/Y轴手动控制，Z轴电动控制 | |||
| 图像传感器 | 高清晰、高分辨率彩色工业数字摄像机 | |||
| 光源 | 透射光 | LED平行冷光源，256级亮度可调 | ||
| 反射光 | 卤素灯/LED照明器可选 | |||
| 目镜 | 三目镜筒 | |||
| 光学物镜*** | 手动物镜转换器：5X 10X 20X 50X 100X(倍率可选) | |||
| 适用电源 | 100-240V(AC)50/60Hz | |||
| 工作环境 | 温度22±2℃湿度30%-80%振动<0.002g，低于15Hz | |||
备注
* Z轴标配测量行程为150mm，特殊需求可定制
** 标配为0.5µm光栅尺，可选配0.1µm光栅尺
*** 可选配自动变倍物镜转换器
仪器特点
各型号量程仪器支持定制开发
高精度花岗岩底座、立柱，确保机构有极高的稳定性及精度
高精度、高分辨率光栅尺
高解析度、高分辨率工业专用彩色CCD，确保拥有高质量的测量画面
Z轴电动手脉控制
可实现高度辅助测量
可扩展选配DIC微分干涉模块
可扩展选配光谱共焦白光测量模块